SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体(bàndǎotǐ)展览会，诚邀行业伙伴莅临(lìlín)14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的(de)创新(chuàngxīn)应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组(mózǔ) 新品首发 本次展会(zhǎnhuì)，广明源(yuán)将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量(xiǎopīliàng)试产环节设计，具备(jùbèi)结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外黑(hēi)科技 可高效分解晶圆表面有机残留(cánliú)，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗(qīngxǐ)等工艺提供稳定前处理方案。 极简(jíjiǎn)结构，桌面级准分子实验新体验 由于传统准分子(zhǔnfènzǐ)光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级(jí)灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照(guāngzhào)射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于(xiāngdāngyú)书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗(qīngxǐ)、塑料(sùliào)表面改性等多领域研发需求。 封装工艺(gōngyì)表面清洁处理 超净化超微细(wēixì)清洗工艺验证 172nm 系列全线(quánxiàn)亮相共襄盛会 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与模组(mózǔ)产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更(gèng)多选择(xuǎnzé)。 172nm准分子系列(xìliè)光源 172nm准分子系列模组及(jí)设备 SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体制造企业(qǐyè)、设备(shèbèi)厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用，共同(gòngtóng)探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体(bàndǎotǐ)展览会 时间：2025年6月(yuè)4-6日 地点：深圳国际(guójì)会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实或与本网联系(liánxì)。文章观点非本网(fēiběnwǎng)观点，仅供读者参考(cānkǎo)。）